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线性驱动
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产品概述 product overview
带可调节法兰线性驱动以标准ltm系列为基础，集成了可调节法兰，允许±3°范围内倾斜以便最终对准，可用于束线校准诊断或离子/溅射源校准等。调节通过三个螺杆实现。该系列可调节法兰在标准法兰基础上均配有相应螺栓孔。
标配为手动驱动，若需要电机驱动请与费勉联系。
规格说明 specification
● 工作气压：10-11mbar~1bar
● 最高烘烤温度：150°c
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 两端安装法兰：cf法兰，螺纹孔
● 可调角度：±3°
● 刻度以1mm递增
| 法兰尺寸 | 行程 | a延长 | a压缩 | c | 重量（kg) | 型号 | |
| 毫米 | 英寸 |
毫米 |
|||||
| 70 | 2.75 | 75 | 163 | 88 | 38 | 2.7 | lpa35l75m |
| 100 | 197 | 97 | 38 | 5.0 | lpa35l100m | ||
| 150 | 257 | 107 | 38 | 7.3 | lpa35l150m | ||
产品尺寸 dimension drawing
视频 video
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